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松下傳感器是將各種非電量(包括物理量、化學(xué)量、生物量等)按一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成便于處理和傳輸?shù)牧硪环N物理量 (一般為電量)的裝置。傳感器一般由敏感元件、轉(zhuǎn)換元件和測量電路三部分組成,有時(shí)還需外加輔助電源。
制造半導(dǎo)體傳感器的基本原理是利用硅晶體的壓阻效應(yīng)。單晶硅材料在受到應(yīng)力作用后,其電阻率發(fā)生明顯變化,這種現(xiàn)象稱為壓阻效應(yīng)。
松下傳感器所用的元件材料是具有壓阻效應(yīng)的單晶硅、擴(kuò)散摻雜硅和多晶硅。根據(jù)晶體不受定向應(yīng)力時(shí),電導(dǎo)率是同性的,只有受定向應(yīng)力時(shí)才表現(xiàn)出各向異性,由于應(yīng)力能引起能帶的變化,能谷能量移動,導(dǎo)致電阻率的變化,于是就有電阻的變化,從而產(chǎn)生壓阻效應(yīng)。
單晶硅效應(yīng)包括n型和p型硅壓阻效應(yīng)。選用擴(kuò)散硅目的在于在設(shè)計(jì)制造松下傳感器時(shí)可根據(jù)不同溫度下硅擴(kuò)散層的壓阻特性選擇合適的擴(kuò)散條件,力求使傳感器具有良好的性能。多晶硅在傳感器中有廣泛的用途,可作為微結(jié)構(gòu)和填充材料、敏感材料。
延平松下傳感器的原理是怎樣的